Study on the effect of hydrogen addition on the variation of plasma parameters of argon-oxygen magnetron glow discharge for synthesis of TiO2 films

dc.contributor.authorSaikia, Partha
dc.contributor.authorSaikia, Bipul Kumar
dc.contributor.authorBhuyan, Heman
dc.date.accessioned2020-08-13T21:25:17Z
dc.date.available2020-08-13T21:25:17Z
dc.date.issued2016
dc.fuente.origenConveris
dc.identifier.doi10.1063/1.4947091
dc.identifier.issn2158-3226
dc.identifier.urihttps://doi.org/10.1063/1.4947091
dc.identifier.urihttps://repositorio.uc.cl/handle/11534/38609
dc.issue.numeroNo. 4
dc.language.isoen
dc.nota.accesoContenido completo
dc.pagina.final045206-9
dc.pagina.inicio045206-1
dc.revistaAIP Advanceses_ES
dc.rightsacceso abierto
dc.subject.ddc510
dc.subject.deweyMatemática física y químicaes_ES
dc.subject.ods06 Clean water and sanitation
dc.subject.odspa06 Agua limpia y saneamiento
dc.subject.otherPlasma (Gases ionizados)es_ES
dc.subject.otherIonizaciónes_ES
dc.subject.otherEspectroscopía de emisiónes_ES
dc.titleStudy on the effect of hydrogen addition on the variation of plasma parameters of argon-oxygen magnetron glow discharge for synthesis of TiO2 filmses_ES
dc.typeartículo
dc.volumenVol. 6
sipa.codpersvinculados1003913
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Study on the effect of hydrogen addition on the variation of plasma parameters of argon-oxygen magnetron glow discharge for synthesis of TiO2 films.pdf
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